Ученые Нижегородского университета запатентовали очистку кремния
Исследователи Университета Лобачевского создали технологию глубокой очистки нанопорошка диоксида кремния. Разработка ляжет в основу отечественных полировальных суспензий для полупроводников.
Ученые научно-исследовательской лаборатории инженерной химии НИИ химии Университета Лобачевского запатентовали способ глубокой очистки нанопорошка диоксида кремния для микроэлектроники. Как пояснила руководитель исследования, кандидат химических наук Ксения Отвагина, изобретение предназначено для химико-механической полировки полупроводниковых пластин и использования высокочистых абразивных наноматериалов.
Предложенный подход позволяет управлять свойствами наночастиц, обеспечивая заданный размер и форму. Разработка гарантирует высокую однородность, стабильность и низкое содержание примесей, что критически важно для качества обработки пластин, а также для надежности и производительности электронных устройств.
Проект реализуется с 2024 года в рамках стратегического проекта «Новые материалы для микроэлектроники» федеральной программы «Приоритет-2030». К октябрю 2026 года исследователи подготовили технологическую линию и регламент получения продукта.
На основе очищенного материала создана устойчивая суспензия, которая уже направлена на апробацию индустриальному партнеру. Ректор ННГУ Олег Трофимов отметил, что целью университета является обеспечение полного цикла от фундаментальных исследований до серийного внедрения для создания отечественной компонентной базы.
Комментарии
Пока никто не написал. Будьте первым.